| 品名： GZO靶材 AZO靶材 GZO蒸镀靶，ZnO靶材 | 牌号：99.9*** | 产地：广东 |
| 稀土含量≥：0.1% | 杂质含量：0.0001% | 重量：1kg/块 |
ZGO靶材
主要技术指标：
*化学成分：97wt.% ZnO,3wt.%Ga2O3，或按客户要求
或按使用者需要提供；
*纯度：3N或4N
*相对密度：≥****靶材电阻率：3.5×10-3Ω·cm
*室温镀膜电阻率：≤6.8×10-3Ω·cm
*高温镀膜电阻率：≤2.15×10-4Ω·cm
AZO靶材
主要技术指标：
*化学成分：98wt.% zno, 2wt.%al2o3或按用户需要提供；
*纯度：3n或4n；
*相对密度：≥99.5%；
实测密度≥5.60g/cm3
*靶材电阻率：5×10—4ω·cm(表面电阻由于机加工等原因会明显高于此值)；
*膜电阻率：采用射频磁控溅射，基片加热温度220℃，在工艺条件下：2.17×10—4ω·cm；基片加热温度450℃，在工艺条件下：9.06×10—5ω·cm
*目前能提供的尺寸：400mm×200mm×9mm。
GZO靶材
主要技术指标：
*化学成分：95wt.% zno, 5wt.%ga2o3或按用户需要提供；
*纯度：3n或4n
*相对密度：≥99.5%
*靶材电阻率：3.5×10—4ω·cm(表面电阻由于机加工等原因会明显高于此值)。
*目前能提供的尺寸：400mm×200mm×9mm
